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氬氣做為粗漏示蹤氣體的優(yōu)越性
來源：www.fsydmsm.com 發(fā)布時間：2020年07月16日
莆田氬氣和氦氣同為空氣中的惰性氣體，正?？諝庵械臍鍤夥謿鈮篜Ar0為946Pa，氦氣分氣壓PHe0為0.533Pa，PAr0是PHe0的1775倍。
在積累氦質(zhì)譜粗漏細(xì)漏組合檢測中，以莆田氬氣為粗漏示蹤氣體，比以氦氣為粗漏示蹤氣體，具有更高的靈敏度。
采用Pernicka 700H CHLD、配以不同的檢測室和Inficon德國公司Rudi Widt先生自制的莆田氬氣標(biāo)準(zhǔn)漏孔，進(jìn)行的測試表明，在測試的氬氣不合理的經(jīng)過深冷泵、氬的吸收使積累曲線呈下降狀，因此有一定偏差的情況下，Pernicka 700H CHLD仍能基本準(zhǔn)確地測試3.0×10-2Pa·cm3/s和2.0×10-3Pa·cm3/s的氬氣漏率。
使初次檢測被檢件預(yù)充氣體中包含分氣壓為PAr0的氬氣，再次檢測壓氦的同時包含分氣壓為PAr0的氬氣，檢測前始終貯存在正?？諝庵?，粗漏檢測以莆田氬氣為示蹤氣體，細(xì)漏檢測以氦氣為示蹤氣體，則可以充分地將粗漏和細(xì)漏分開，細(xì)漏檢測的氦氣測量漏率判據(jù)Rmax可以大于粗漏判據(jù)RAr0max所對應(yīng)的R0max；可以選取小于等于1.0 Pa·cm3/s的L0；同樣內(nèi)腔容積被檢件τAr0所對應(yīng)的τHe0不僅遠(yuǎn)大于以氦氣為粗漏細(xì)漏示蹤氣體的積累氦質(zhì)譜組合檢測的τHe0，而且可以大于以氟碳化合物氣泡法進(jìn)行粗檢漏（L0=1.0Pa·cm3/s）的氦質(zhì)譜細(xì)檢漏的τHe0，可以成數(shù)量級或成倍地加大定量確定的長候檢時間；有更充裕的時間去除被檢件的表面吸附氦，從而允許采用更嚴(yán)的細(xì)漏測量漏率判據(jù)Rmax；為減少粗漏漏檢，若取t4max=0.1τAr0，同樣的儀器可適用更寬的τHemin和V范圍。
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在積累氦質(zhì)譜粗漏細(xì)漏組合檢測中，以莆田氬氣為粗漏示蹤氣體，比以氦氣為粗漏示蹤氣體，具有更高的靈敏度。
采用Pernicka 700H CHLD、配以不同的檢測室和Inficon德國公司Rudi Widt先生自制的莆田氬氣標(biāo)準(zhǔn)漏孔，進(jìn)行的測試表明，在測試的氬氣不合理的經(jīng)過深冷泵、氬的吸收使積累曲線呈下降狀，因此有一定偏差的情況下，Pernicka 700H CHLD仍能基本準(zhǔn)確地測試3.0×10-2Pa·cm3/s和2.0×10-3Pa·cm3/s的氬氣漏率。
式中，P0為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，P0=1.013×105Pa；MA為以克表示的平均空氣摩爾質(zhì)量，MA=28.96g。
使初次檢測被檢件預(yù)充氣體中包含分氣壓為PAr0的氬氣，再次檢測壓氦的同時包含分氣壓為PAr0的氬氣，檢測前始終貯存在正?？諝庵?，粗漏檢測以莆田氬氣為示蹤氣體，細(xì)漏檢測以氦氣為示蹤氣體，則可以充分地將粗漏和細(xì)漏分開，細(xì)漏檢測的氦氣測量漏率判據(jù)Rmax可以大于粗漏判據(jù)RAr0max所對應(yīng)的R0max；可以選取小于等于1.0 Pa·cm3/s的L0；同樣內(nèi)腔容積被檢件τAr0所對應(yīng)的τHe0不僅遠(yuǎn)大于以氦氣為粗漏細(xì)漏示蹤氣體的積累氦質(zhì)譜組合檢測的τHe0，而且可以大于以氟碳化合物氣泡法進(jìn)行粗檢漏（L0=1.0Pa·cm3/s）的氦質(zhì)譜細(xì)檢漏的τHe0，可以成數(shù)量級或成倍地加大定量確定的長候檢時間；有更充裕的時間去除被檢件的表面吸附氦，從而允許采用更嚴(yán)的細(xì)漏測量漏率判據(jù)Rmax；為減少粗漏漏檢，若取t4max=0.1τAr0，同樣的儀器可適用更寬的τHemin和V范圍。
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